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鳴海 一雅; Xu, Y.; 宮下 喜好*; 楢本 洋
JAERI-Review 2002-035, TIARA Annual Report 2001, p.176 - 178, 2002/11
Si(111)上のC薄膜に、7MeV Cイオンを照射し、C薄膜に対するイオン照射効果を原子間力顕微鏡,顕微ラマン分光を用いて調べた。C分子は、イオン照射によって分解して非晶質炭素へ変換し、同時に、絶縁性の薄膜が電気伝導性を持つようになった。一方、イオン照射によるCのポリマー化が観測された。
鳴海 一雅; 楢本 洋
Surface & Coatings Technology, 158-159, p.364 - 367, 2002/09
Si(111)上のC薄膜に、7MeV Cイオンを照射し、C薄膜に対するイオン照射効果を原子間力顕微鏡,顕微ラマン分光を用いて調べた。ラマン分光の結果より、照射前のC薄膜は部分的にポリマー化しており、イオン照射によって脱ポリマー化が進み、1.110/cmの照射量でポリマー成分が消失することがわかった。さらに照射量を増やすと、C分子の解離が始まり、1.110/cmの照射量では非晶質炭素化が進んでいることが観測された。原子間力顕微鏡を用いた電気伝導性の評価においては、1.110/cmの照射量で電気伝導性が認められた。これらの結果から、イオン照射によるC分子の解離によって、ほぼ絶縁体であるC薄膜に電気伝導性が生じたと考えられる。